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第一章真空技术基础3Dz俱兴阁-塑料学用网
第一节真空的基本知识3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、表示真空程度的单位3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、真空区域的划分3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、固体对气体的吸附及气体的脱阳3Dz俱兴阁-塑料学用网
第二节真空的获得3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、旋片式机械真空泵3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、复合分子泵3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、低温泵3Dz俱兴阁-塑料学用网
第三节真空的测量3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、电阻真空计3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、热偶真空计3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、电离真空计3Dz俱兴阁-塑料学用网
参考文献3Dz俱兴阁-塑料学用网
第二章薄膜制备的化学方法3Dz俱兴阁-塑料学用网
第一节热氧化生长3Dz俱兴阁-塑料学用网
第二节化学气相沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、一般化学气相沉积反应3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、化学气相沉积制备薄膜的传统方法3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、激光化学气相沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、光化学气相沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
五、等离子体增强化学气相沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
第三节电镀3Dz俱兴阁-塑料学用网
第四节化学镀3Dz俱兴阁-塑料学用网
第五节阳极反应沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
第六节LB技术3Dz俱兴阁-塑料学用网
参考文献3Dz俱兴阁-塑料学用网
第三章薄膜制备的物理方法3Dz俱兴阁-塑料学用网
第一节真空蒸发3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、真空蒸发沉积的物理原理3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、真空蒸发技术3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、溅射的基本原理3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、溅射镀膜的特点3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、溅射参数3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、溅射装置3Dz俱兴阁-塑料学用网
第三节离子束和离子助3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、离子镀3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、阴极电弧等离子体沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、热空阴极枪蒸发3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、离子轰击共沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
五、非平衡磁控离子助沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
六、离子束沉积3Dz俱兴阁-塑料学用网
第四节外延生长3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、分子束外延(MBE)3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、液相外延生长(LPE)3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、热壁外延生长(HWE)3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、有机金属化学气相沉积(MOCVD)3Dz俱兴阁-塑料学用网
参考文献3Dz俱兴阁-塑料学用网
第四章薄膜的形成与生长3Dz俱兴阁-塑料学用网
第一节形核3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、凝聚过程3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、Langmuir-Frenkel凝聚理论3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、成核理论3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、实验结果3Dz俱兴阁-塑料学用网
第二节生长过程3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、一般描述3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、类液体合并3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、沉积参数的影响3Dz俱兴阁-塑料学用网
第三节薄膜的生长模式3Dz俱兴阁-塑料学用网
第四节远离平衡态薄膜生长3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、粗糙表面的结构和生长3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、简单模型3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、薄膜生长模型的实验研究3Dz俱兴阁-塑料学用网
参考文献3Dz俱兴阁-塑料学用网
第五章薄膜表征3Dz俱兴阁-塑料学用网
第一节薄膜厚度控制及测量3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、沉积率和厚度监测仪3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、膜厚度测量3Dz俱兴阁-塑料学用网
第二节组分表征3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、卢瑟福背散射(RBS)3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、二次离子质谱仪(SIMS)3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、X射线光电子能谱(XPS)3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、俄歇电子能谱3Dz俱兴阁-塑料学用网
五、电镜中的显微分析3Dz俱兴阁-塑料学用网
第三节薄膜的结构表征3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、衍射参数3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、热振动与Debye-Waller因子3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、低能电子衍射(LEED)3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、掠入射角X射线衍射(GIXS)3Dz俱兴阁-塑料学用网
五、透射电子显微镜3Dz俱兴阁-塑料学用网
第四节原子化学键合表征3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、能量损失谱(EELS)3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、扩展X射线3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、振动光谱：红外吸收光谱和拉曼光谱3Dz俱兴阁-塑料学用网
第五节薄膜应力表征3Dz俱兴阁-塑料学用网
参考文献3Dz俱兴阁-塑料学用网
第六章薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
第一节超硬薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、超硬材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、金刚石薄膜3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、类金刚石薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、CN薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
第二节智能薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、形状记忆合金薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、NiTi形状记忆合金薄膜的制备和表征3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、形状记忆合金及薄膜的应用3Dz俱兴阁-塑料学用网
第三节纳米薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、纳米多层膜涂层3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、纳米复合硬质涂层3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、应用及展望3Dz俱兴阁-塑料学用网
第四节石墨片二维薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、石墨片的实验制备3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、石墨片的性质3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、展望3Dz俱兴阁-塑料学用网
第五节磁性氮化铁薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、氮化铁薄膜材料的相结构3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、氮化铁薄膜材料的制备与表征3Dz俱兴阁-塑料学用网
第六节巨磁阻锰氧化物薄膜材料3Dz俱兴阁-塑料学用网
一、磁阻的定义3Dz俱兴阁-塑料学用网
二、钙钛矿锰氧化物薄膜中的CMR效应及机制研究3Dz俱兴阁-塑料学用网
三、锰氧化物薄膜制备工艺及表征手段3Dz俱兴阁-塑料学用网
四、巨磁电阻薄膜材料的应用现状3Dz俱兴阁-塑料学用网
参考文献3Dz俱兴阁-塑料学用网